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脱気・給気膜モジュール

●MHF中空糸膜とは

三層複合中空糸膜(MHF)は、三菱レイヨンが世界で最初に商品化した全く新しい中空糸膜で、特殊機能(ガス高選択透過性)のある非多孔質層でサンドイッチ状に挟み込んだ構造を有します。

●MHF中空糸膜の特長

  1. 溶存酸素を1μg/L (ppb)以下の超低濃度まで脱気
  2. 安定なランニング性能
  3. 超純水、食用水に対応できる低溶出性
  4. コンパクトなモジュール構造に対応

●MHF膜の用途

用途 機能 効果
    LSI、LCD洗浄用水      溶存酸素の除去      ⇒ 酸化皮膜の形成防止
     溶存炭酸ガスの除去      ⇒ ポリッシャーへの負荷軽減
     炭酸ガスの溶解      ⇒ 電気伝導度の調整
    ビル給水、空調用水      溶存酸素の除去      ⇒ 配管の腐蝕防止
    食品用水      溶存空気の除去      ⇒ 充填量均一化、成分の酸化劣化防止
     微量揮発性有機物の除去      ⇒ 安全性の向上
    超音波洗浄用水      溶存酸素の除去      ⇒ 金属部品の防錆
     溶存空気の除去      ⇒ 槽内音圧の強化、均一化
    分析装置用水      脱泡      ⇒ 微量定量性の向上
    半導体薬液      マイクロバブル除去      ⇒ パターン欠陥防止

●MHF膜の標準仕様

 
 

              

 

品名 MHF膜モジュール
型式 20M0060A
(MHF0504MBFT)
20M1700A
(MHF1704)
20M3400A
(MHF3504)
モジュール長  200 mm 630 mm 774 mm
モジュール径 Φ48 mm Φ114 mm Φ165 mm
膜面積 0.6 m2 15 m2 34 m2
ハウジング
素材
ポリカーボネート ポリ塩化ビニル
キャップ
素材
ポリカーボネート ポリプロピレン
シール材 ポリウレタン
使用圧力 ≦ 0.3 MPa
使用温度 ≦ 40℃
接続口
の形式
スクリュー型 フェルール型
接続口径 PF 1/4 PT 3/4 - PF 1/2 25A

          性能データ 

 
 

              

 

品名 MHF膜モジュール
型式 20E0240A1 (MHF304EEDF) 20E0240A3 (MHF304KMD)
カートリッジ
 215 mm
カートリッジ
Φ72 mm
膜面積 2.4 m2
ハウジング
素材
ポリフェニレン
エーテル
ポリカーボネート
シール材 エポキシ ポリウレタン
使用圧力 ≦ 0.3 MPa
使用温度 ≦ 60℃ ≦ 40℃

          性能データ 

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